제품소개
V Series
제품소개
V Series
VPS-V Series
VPS-V
당사는 기술 중심의 업체로서 다양한 산업 분야에 고품질 및 고신뢰성 제품을 개발 공급하는 데 필요한 풍부한 지식과 경험을 보유하고 있습니다.
반도체
태양광
LED 제조
새로운 에너지 배터리
1분진 여과
- 흡입 플랜지에는 분진을 걸러내고 분진으로 인한 기계적 고장을 줄이기 위해 필터 스크린 장착
2모터
- 모터는 베어링과 커플링을 사용하지 않는 캔딜레버형으로 크기가 작고 고장율이 낮음
- 에폭시 수지 주조 : 모터 효율 향상을 위해 고정자와 회전자 사이에 탱크 밀봉 적용 안함
3Seal
- 양 쪽은 라비린스 씰, 양방향 립씰 및 질소 씰(모터 측)로 밀봉. 진공 펌프의 성능을 유지하기 위해 효과적인 밀봉 보장
4냉각
- 과열로 인한 기계적 문제를 방지하기 위한 넓은 면적의 냉각 구조
- 솔레노이드 밸브 막힘이나 손상으로 인한 고온 고장을 방지하기 위해 솔레노이드 밸브 적용 안함
- 급수관 막힘을 더욱 효과적으로 방지하기 위해 급수구에 필터 선택 적용
- 추 후 사용 시 손쉬운 유지 보수를 위한 외부 냉각수 파이프
- 냉각수 파이프는 SUS 재질로 제작되어 있으며 수명이 김
특징 및 장점
컴팩트한 구조
- 적은 부품 수로 향 후 설치 및 유지 보수 용이
- 작은 설치 공간
높은 펌핑 효율
- 우수한 로터 설계와 적절한 압축비
- 고속 모터
높은 신뢰성
- 베어링, 립씰, 진공 펌프 오일, 주파수 변환기 등 높은 신뢰성 부품 적용
- 풍부한 파라미터 설정 및 모니터링 전자 제어 시스템 모듈 적용
VS Series Hybrid screw rotor
특징
- 낮은 최종 진공도
- 내부 압축이 없으므로 공정 가스가 챔버 내부에서 압축 및 응축되지 않음
- 간편한 파우더 처리
Specification
| Model | VS250 | VS700 | VS1400 | VS2000 | |
|---|---|---|---|---|---|
| Ultimate pressure | Torr | 3.75E-03 | 7.50E-04 | ||
| Pa | 0.5 | 0.1 | |||
| Pumping speed | m3/h | 250 | 700 | 1400 | 2000 |
| l/min | 4160 | 11660 | 23330 | 33330 | |
| Cooling water | l/min | 4 ~ 7 | |||
| Power at ultimate | kW | 2.6 | 3 | 3.4 | 3.6 |
| Purge gas | l/min | 0 ~ 100 | |||
| Electrical | 3Φ 380V 50Hz | ||||
| Weight | Kg | 180 | 340 | 380 | 420 |
| Noise | dBA | ≤70 | |||
| Inlet flange size | KF50 | ISO100 | ISO160 | ||
| Out flange size | KF40 | ||||
| External dimensions | mm | 780x410x570 | 780x410x810 | 920x410x1065 | |
Performance
VD Series Variable screw
특징
- 고압부에서 펌핑 속도가 빠름
- 낮은 에너지 소비
- 저소음
Specification
| Model | VD250 | VD350 | VD650 | VD700 | VD1400 | VD2000 | VD2600 | VD4200 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ultimate pressure | Torr | 3.75E-03 | 7.50E-04 | |||||||
| Pa | 0.5 | 0.1 | ||||||||
| Pumping speed | m3/h | 250 | 350 | 650 | 700 | 1400 | 2000 | 2600 | 4200 | |
| l/min | 4160 | 5830 | 10830 | 11660 | 23330 | 33330 | 43330 | 72000 | ||
| Cooling water | l/min | 4 ~ 7 | 8 ~ 12 | |||||||
| Power at ultimate | kW | 4.2 | 5 | 11 | 4.5 | 4.8 | 5.2 | 6.1 | 12.2 | |
| Purge gas | l/min | 0 ~ 100 | ||||||||
| Electrical | 3Φ 380V 50Hz | |||||||||
| Weight | kg | 280 | 300 | 620 | 400 | 640 | 650 | 700 | 1160 | |
| Noise | dBA | ≤70 | ≤75 | |||||||
| Inlet flange size | KF50 | ISO100 | ISO160 | ISO200 | ||||||
| Outlet flange size | KF40 | KF50 | ||||||||
| External dimensions | mm | 820x450x620 | 875x450x620 | 1220x550x760 | 830x450x930 | 870x450x980 | 950x450x1000 | 1220x550x1160 | ||
Performance
