루츠형 고진공 부스터는 샤프트에 고정된 타이밍 기어에 의해 케이싱 내 두 개의 땅콩 모양 로터가 동일한 사이클에서 서로 반대 방향으로 회전하는 방식입니다. 흡입구로 흡입된 공기는 케이싱과 로터 사이의 공간에 포집되어 첫 번째 진공 펌프를 통해 대기 중으로 배출됩니다.
로터와 케이싱이 매우 적은 간극(0.2~0.6mm)을 유지하며 회전하기 때문에 매우 깨끗한 진공이 가능합니다. 실린더(케이싱)와 로터 내부에 윤활유가 필요 없는 배기 방식입니다. 또한 로터가 고속(최대 3,600rpm)으로 회전하더라도 로터와 케이싱 사이에 접촉이 없기 때문에 로터를 반영구적으로 사용 할 수 있습니다. 특히 로터 재질은 고강도 고순도FCD450 이며, 표면 처리를 통해 내식성과 강도를 향상 시켰습니다. Mech. seal을 사용하지 않아 베어링 오염 없이 화학 공정에서 장기간 사용 할 수 있습니다.